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从硅料到硅片工艺流程及设备一切片机及金刚线切割
发布日期：2024-09-02 点击：343
金刚线切割是硅片切割的主要方式，以电镀金刚线为主。电镀金刚石线是一种在镀液中添加一定的金刚石磨料，当镀液中的金属离子在阴还原成金属，沉积在线锯基体上时，金刚石微粒被包覆进入镀层而制成的线性锯切工具。制作过程包括预处理、预镀、上砂、加厚和后续处理等。预处理为镀前对基体打磨、碱洗除油和酸洗活化;预镀是为了在基体与金刚石之间镀上过渡层;紧接着的上砂工艺将金刚石电镀到基体上;加厚工艺增加了镍镀层对金刚石磨料的结合力。
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